SMC氣罐安裝方式，BMB4-032

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## Complies with UL and SEMI standards, CE specifications.
CAD Setting Temperature Range Cooling Capacity
Temperature Stability Cooling Method Circulating Fluid
HEB -15 ~ 60 ℃ 140W ± 0.1 ℃ Paer paste type
HEC  10～60℃ 230W ±0.01～
特長 ##用于高精度的溫度控制。
##用帕爾貼式元件可實現無氟里昂高精度溫度控制。
##結構簡單，可靠性高。
##小型、低震動，容易組裝。
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環液 

 SMC氣罐安裝方式，BMB4-032

HRW  20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷卻式 氟素化液
特長 ##可以與說明書內循環用水直接進行熱交換。
##適用于無需冷凍設備調溫的場合。
##溫度穩定性高、溫度調節范圍寬、具有故障診
## Unique mixing method to make the upper and
lower temperature distribution within the tank evenly
帕耳帖式空氣溫控器    HEA 
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 適用流體
HEA  0～50℃ 22W ±0.1℃ 帕耳帖式
 空冷卻式 空氣
特長 ##使用帕爾貼元件的高精度、小型溫調器。
##對應于局部溫調或小容量溫調。

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